No/VOL: 03/2014 Page no. 251
Authors: Andrey Tyavlovsky , Anatoly Zharin , Oleg Gusev , Konrad Kierczynski :
Title: Kompensacja błędu sondy Kelvina na podstawie analizy harmonicznej sygnału pomiarowego
Abstract: Zmniejszanie błędów szczeliny zależnego od sygnału pomiarowego sondą Kelvina uzyskuje się za pomocą analizy harmonicznej samego sygnału pomiarowego, co eliminuje potrzebę używania optycznych lub innych pomiarów odległości. Wartość szczeliny sondy od próbki oblicza się poprzez stosunek amplitud harmonicznych drugiego sygnału do pierwszego. Kompensacja błędu szczeliny może odbywać się trybie czasu rzeczywistego, jak pokazano w doświadczeniu.
Key words: sonda Kelvina, stykowa różnica potencjałów, analiza harmoniczna, błędy pomiarowe.
DOI number: 10.12915/pe.2014.03.58