No/VOL: 11b/2012 Page no. 328
Authors: Marcin Turek , Andrzej Droździel , Krzysztof Pyszniak , Dariusz Mączka :
Title: Wytwarzanie jonów podwójnie naładowanych w plazmowym źródle jonów z parownikiem
Abstract: W artykule omówiono wytwarzanie wiązek jonów podwójnych (As2+, Al2+, Bi2+, Sb2+,Be2+, Mn2+ oraz Ga2+) przy użyciu źródła jonów z parownikiem ogrzewanym wyładowaniem łukowym. Zaprezentowano podstawowe charakterystyki pracy: zależności natężenia prądu jonowego i napięcia anodowego od natężenia prądu wyładowania, natężenia prądu katodowego i indukcji pola magnetycznego. Omówiono także numeryczny model jonizacji w źródle i porównano przewidywane przez ten model wyniki z wynikami eksperymentalnymi.
Key words: źródła jonów, implantacja jonowa, jony podwójnie naładowane.