No/VOL: 10b/2012 Page no. 114
Authors: Tomasz Grzebyk , Anna Górecka-Drzazga :
Title: Mikropompa dla urządzeń nanoelektroniki próżniowej
Abstract: Rozwój urządzeń nanoelektroniki próżniowej jest ograniczony brakiem możliwości wytworzenia wysokiej i ultra wysokiej próżni w objętości mniejszej niż 1 cm3. W pracy przedstawiono konstrukcję i technologię mikropompy jonowo-sorpcyjnej, która może być zintegrowana z każdym urządzeniem wytworzonym technikami mikroinżynieryjnymi. Wykonano struktury testowe mikropompy i zmierzono ich właściwości.
Key words: polowe źródło elektronów, emisja polowa, mikropompa, mikroinżynieria.