No/VOL: 10b/2012 Page no. 95
Authors: Alicja Palczyńska , Magdalena Ekwińska , Paweł Janus , Piotr Grabiec , Teodor Gotszalk :
Title: Sterowanie i pomiar planarnych aktuatorów elektrostatycznych
Abstract: W niniejszym artykule zostały opisane badania dwóch typów planarnych aktuatorów elektrostatycznych. Przedstawiono zasadę działania aktuatorów z uwzględnieniem zjawiska przyciągania elektrod. Zaprezentowano obliczenia podstawowych parametrów mechanicznych takich jak stałe sprężystości i częstotliwości rezonansowe. Porównano ponadto charakterystyki uzyskane dwiema metodami – z zastosowaniem interferometru światłowodowego, a także światłowodowego czujnika zbliżeniowego. Omówiono wady i zalety wymienionych metod w odniesieniu do badanych aktuatorów.
Key words: aktuatory elektrostatyczne, interferometr światłowodowy, czujnik natężeniowy, siła elektrostatyczna