No/VOL: 10b/2012 Page no. 11
Authors: Renata Sulima :
Title: Wpływ kształtu struktury MEMS na jej parametry
Abstract: Artykuł przedstawia porównanie układów elektrostatycznych grzebieniowych o ruchu liniowym i kątowym. W przypadku ruchu liniowego rozpatrywano przypadki zębów prostokątnych i zębów zaokrąglonych. Przeprowadzono analizę polową z wykorzystaniem modelu 2D i 3D wymienionych konstrukcji grzebieniowych. Obliczenia i porównanie wyników wykazują nieznaczny wpływ zmiany kształtu mikrostruktury na parametry układu.
Key words: MEMS, napędy grzebieniowe, przełączniki optyczne.