No/VOL: 05a/2012 Page no. 22
Authors: Jacek Gołębiowski :
Title: Mikroelektromechaniczny przetwornik indukcji pola magnetycznego na sygnał optyczny
Abstract: Przedstawiono mikroelektromechaniczny przetwornik z belkę krzemową i płaską cewką do pomiaru indukcji pola magnetycznego. Cewka zasilana jest ze źródła prądu stałego. Opisano system optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki. Zmiany natężenia pola magnetycznego powodują przemieszczenie końca belki i zmianę kąta ugięcia belki. Analizowano wpływ parametrów uzwojenia na rozkład generowanego pola magnetycznego w celu optymalizacji konstrukcji cewki.
Key words: MEMS, system pomiarowy, pomiar indukcji magnetycznej, układy optoelektroniczne, czujniki światłowodowe