No/VOL: 09a/2011 Page no. 56
Authors: Jacek Gołębiowski , Roman Gozdur , Andrzej Majocha :
Title: Mikromechaniczny krzemowy przetwornik pola magnetycznego
Abstract: Przedstawiono mikromechaniczny system do pomiaru indukcji pola magnetycznego. W systemie zastosowano mikrobelkę krzemową z warstwą ferromagnetyczną. Analizowano wpływ parametrów belki oraz oddziaływanie zewnętrznego pola magnetycznego na kąt ugięcia belki. Zaprezentowano układ optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki.
Key words: MEMS, system pomiarowy, pomiar indukcji magnetycznej, układy optoelektroniczne