No/VOL: 10/2010 Page no. 83
Authors: Piotr Grabiec , Teodor Gotszalk , Paweł Janus , Grzegorz Małozięć , Konrad Nieradka , Grzegorz Wielgoszewski , Przemysław Sulecki , Jacek Radojewski :
Title: Wielowiązkowy układ do obserwacji ugięcia dźwigni macierzy czujników mikromechanicznych
Abstract: W pracy przedstawiono układ do pomiaru statycznego wychylenia oraz charakterystyk rezonansowych mikrodźwigni sprężystych zintegrowanych w jednowymiarowej macierzy. Opisano budowę stanowiska do sterowania laserami półprzewodnikowymi oraz stabilizacji ich temperatury.
Key words: mikrodźwignia, macierz, laser, zasilacz, światłowód.