No/VOL: 10/2010 Page no. 43
Authors: Wojciech Kapłonek , Czesław Lukianowicz :
Title: Zastosowanie koherencyjnej interferometrii korelacyjnej do pomiarów topografii powierzchni
Abstract: Do dokładnej oceny topografii powierzchni często stosuje się metody interferencyjne wykorzystujące światło białe. W referacie przedstawiono metodę opartą na analizie maksymalnej wartości stopnia koherencji czasowej dwóch interferujących fal. Analiza ta jest dokonywana jednocześnie w wielu punktach badanej powierzchni. Metoda ta ma wiele zalet, takich jak szeroki zakres pomiarowy, wysoka dokładność i krótki czas pomiaru. W artykule zaprezentowano wyniki pomiarów topografii różnorodnych powierzchni otrzymane za pomocą tej metody.
Key words: pomiary optyczne, interferometria światła białego, topografia powierzchni.