No/VOL: 10/2010 Page no. 17
Authors: Piotr Grabiec , Paweł Janus , Anna Baraniecka , Dariusz Szmigiel , Krzysztof Domański , Magdalena Ekwińska , Piotr Prokaryn , Andrzej Sierakowski , Michał Zaborowski :
Title: Modelowanie i wytwarzanie mikrosystemów dla zastosowań w chemii i diagnostyce biomedycznej
Abstract: W artykule przedstawiono procesy technologiczne mikroinżynierii krzemowej wykorzystane do wytwarzania przyrządów opracowywanych w ramach projektu MNS-DIAG. Kluczowymi procesami dla wytwarzania opracowywanych w ramach tego projektu demonstratorów są: głębokie plazmowe trawienie podłoża krzemowego, procesy łączenia płytek podłożowych z innymi płytkami krzemowymi, ceramicznymi lub szklanymi, procesy elektrochemicznego osadzania metali szlachetnych oraz procesy nakładania i kształtowania warstw polimerowych.
Key words: MEMS, mikrosystemy, technologia krzemowa.