No/VOL: 07/2010 Page no. 221
Authors: Andrzej Kociubiński , Mariusz Duk , Tomasz Bieniek , Grzegorz Janczyk :
Title: Zaawansowane modelowanie warstw diamentowych CVD w zastosowaniach MEMS/MOEMS
Abstract: W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™.
Key words: diament, mikrosystemy, symulacje, technologia diamentowa.