No/VOL: 07/2010 Page no. 72
Authors: Alfonsas Grigonis , Liutauras Marcinauskas , Vitas Valincius :
Title: Tworzenie grafito- i polimeropodobnych cienkich powłok węglowych z Ar/C2H2 przy użyciu strumienia plazmy pod ciśnieniem atmosferycznym
Abstract: Na substratach stalowych osadzano powłoki węglowe z gazowej mieszaniny argonu i-acetylenu poprzez wspomagane plazmowo chemiczne osadzanie z fazy gazowej przy ciśnieniu atmosferycznym. Stosunek objętościowy gazów w Ar/C2H2 wynosił 150:1, a odległość pomiędzy wylotem palnika plazmowego i próbkami – 0,005-0,02 m. Skaningowa mikroskopia elektronowa wykazała, że szybkość wzrostu i szorstkość powłok rosną wraz z odległością. Koncentracje wodoru i tlenu (dane RBS i ERD) w powłokach rosną wraz ze wzrostem odległości osadzania. Spektroskopia ramanowska wykazała, że powłoka osadzona z odległości 0,005 m miała najwyższą zawartość sp3 C-C , podczas gdy powłoka osadzona z odległości 0,02m składała się z polimerowych wiązań CHx.
Key words: strumień plazmy, acetylen, argon, powłoki węglowe.