No/VOL: 03/2010 Page no. 1
Authors: Atsuo Kawamura , Shigeki Minegishi , Osamu Fujiwara :
Title: Wpływ warunków na powierzchni elektrody na EM pole promieniowane wyładowania w mikroszczelinie wywołane przez niskonapięciowe ESD
Abstract: Wyładowania elektrostatyczne (ESD) mikroszczelinowe charakteryzują się bardzo krótkimi impulsami ok. 32 ps lub mniej. Dokonano pomiarów wytrzymałości na przebicie oraz badano związek pomiędzy wytrzymałością na przebicie a natężeniem promieniowanego pola elektromagnetycznego. Otrzymano bardzo duże wartości wytrzymałości na przebicie, rzędu 80 MV/m, przy napięciu elektrostatycznym poniżej 350 V. Średnie natężenie promieniowanego pola elektromagnetycznego jest proporcjonalne do wytrzymałości na przebicie. Cykliczne zmiany natężenia promieniowanego pola potwierdzają elektrodowy efekt powierzchniowy. Przedyskutowano także nową metodę szerokopasmowych pomiarów impulsowego pola elektromagnetycznego towarzyszącego procesom ESD z wykorzystaniem anteny rożkowej do pomiaru pól pół TEM.
Key words: Wyładowanie mikroszczelinowe, ESD, promieniowanie pola elektromagnetycznego, elektrodowy efekt powierzchniowy, antena rożkowa do pomiaru pola elektromagnetycznego pół TEM.