No/VOL: 09/2009 Page no. 350-354
Authors: Renata Sulima :
Title: Konstrukcja mikroprzełącznika elektrostatycznego do aplikacji OXC
Abstract: Prezentowany artykuł przedstawia opis modelu kompleksowego elektrostatycznej mikrostruktury grzebieniowej MEMS. Układ taki wykorzystywany może być jako przezroczysty przełącznik w sieciach optycznych DWDM. Przedstawiono opis modelu obwodowego oraz analizę mechaniczną z uwzględnieniem tłumienia w ośrodkach lepkich takich jak powietrze. Mikroprzełącznik charakteryzuje znikomymi oscylacjami podczas przełączania, przy odpowiednim doborze rozmiarów elementów sprężystych oraz elementów napędowych charakterystyka przełączania jest aperiodyczna.
Key words: MEMS, comb-drive, MOEMS, mikroprzełącznik