No/VOL: 02/2004 Page no. 88-92
Authors: Maciej Oszwałdowski , Tomasz Berus , Maciej Zimniak :
Title: Czujniki Halla z silnie domieszkowanych epitaksjalnych warstw n-InSb
Abstract: W artykule przedstawiono zasadę działania czujnika pola magnetycznego, opartą na wykorzystaniu zjawiska Halla. Omówiono podstawowe parametry czujnika , zależności między nimi i ich wpływ na czułość, liniowość i stabilność termiczną. Wykazano, że stosując InSb o różnym stopniu domieszkowania donorowego, można wytworzyć czujniki Halla sygnałowe, o dużej czułości, jak i bardzo dobre czujniki Halla pomiarowe o dobrej liniowości i dużej stabilności termicznej. Stosując, opracowaną w Instytucie Fizyki Politechniki Poznańskiej technologię wytwarzania cienkich warstw epitaksjalnych InSb na podłożach z i-GaAs, wykonano pomiarowe czujniki Halla. Omówiono ich budowę i własności. Przedstawiono porównanie otrzymanych czujników z wybranymi czujnikami innych firm. Przedstawiono perspektywę konstrukcji czujnika Halla z dwuwymiarowym gazem elektronowym wewnątrz cienkiej warstwy niedomieszkowanego InSb.
Key words: czujnik Halla, antymonek indu, cienka warstwa