No/VOL: 03/2008 Page no. 189-191
Authors: Aleksander Pogrebnjak , S.N. Bratushka , H. Levintant :
Title: Wpływ podwójne implantacji jonów niklu i azotu na fizyko-chemiczne właściwości TiNi
Abstract: Wykonano badania metodą RBS z zastosowaniem jonów H+ i Ne+ rozkładów pierwiastków w Ti po dużych dawkach implantacji jonów N+ (1018 см-2) oraz podwójnej implantacji jonów N+ (1018 см-2)i Ni+ (5х1017 см-2). Zaobserwowano obecność dwu maksimów rozkładu atomów N, spowodowaną obecnością atomów Ni. Zjawisko to nie było zaobserwowane po implantacji samych jonów N+. Na skutek obecności atomów Ni powstają naprężenia ściskające, które powodują migrację jonów N poza obszar maksimum rozkładu jonów Ni. Na powierzchni implantowanych próbek Ti powstają kratery o różnych wymiarach, spowodowane jej rozpylaniem podczas implantacji dużych dawek jonów N+ i Ni+.
Key words: RBS, tytan, jony N+, jony Ni+, implantacja jonowa