No/VOL: 03/2008 Page no. 196-199
Authors: Fadiej Komarow , Mirosław Kulik , Jerzy Zuk , Witold Rzodkiewicz :
Title: Badanie wpływu dawki implantowanego indu na funkcję dielektryczną w implantowanych warstwach GaAs metodą elipsometrii spektralnej
Abstract: Zaprezentowano rezultaty badania wpływu dawki implantowanego indu na funkcję dielektryczną w implantowanych warstwach GaAs. Badania przeprowadzono metodą elipsometrii spektralnej.
Key words: implantacja jonowa,elipsometria spektralna, współczynniki załamania i ekstynkcji, GaAs