No/VOL: 03/2008 Page no. 80-82
Authors: Jerzy Mizeraczyk , Mariusz Jasiński , Marcin Goch :
Title: Mikrofalowy generator mikoplazmy
Abstract: Prezentowany mikrofalowy generator mikroplazmy jest urządzeniem wytwarzającym nietermiczną plazmę pod ciśnieniem atmosferycznym. Mikroplazma w tym przypadku wzbudzana jest mikrofalami o częstotliwości 2,45 GHz i mocy od 4 W do 80 W. Jako gaz roboczy zastosowano argon. Długość i szerokość płomienia plazmy wynosi odpowiednio 1,5-14 mm i 0,5-1,5 mm. Jednym z możliwych zastosowań generatora mikroplazmy jest proces oczyszczania płytek drukowanych.
Key words: mikroplazma, plazma generowana mikrofalowo, generator plazmy, mikrowyładowanie pod ciśnieniem atmosferycznym