No/VOL: 03/2008 Page no. 36-38
Authors: Zbigniew Kowalski , Janusz Wilk :
Title: Źródło zneutralizowanej wiązki jonów i jego zastosowanie do nanomodyfikacji powierzchni
Abstract: Artykuł prezentuje proste i użyteczne źródło zneutralizowanej wiązki jonów i jego zastosowanie do nanomodyfikacji powierzchni. Omówiono zagadnienia polerowania i chropowacenia powierzchni oraz generacji powierzchniowych i przypowierzchniowych elementów struktury (fale, zmarszczki). Znaczenie opisywanych zjawisk (procesów) jest szczególnie ważne w takich procesach jak jonowiązkowa preparatyka dla TEM, profilowanie głębokościowe z wykorzystaniem rozpylania jonowego, wytwarzanie submikrometrowych struktur dla mikro- i nanoelektroniki.
Key words: jarzeniowe źródło jonów, wiązka jonów, nanomodyfikacja powierzchni