No/VOL: 03/2023 Page no. 241
Authors: Kheris Djameleldine , Rachida Hocine :
Title: Analiza termiczna mikrogrzejników metodą 3D-TLM i oprogramowaniem COMSOL Multiphysics dla czujnika gazu MEMS
Abstract: Czujniki gazu z tlenkiem metalu (MOx) oferują nowe możliwości dla czujników MEMS ze względu na ich niewielkie zatłoczenie, wysoką czułość i szybką odpowiedź. Płyta grzejna jest kluczowym elementem tych czujników do kontrolowania temperatury warstwy czujnikowej. W tej pracy wykonano i zaprojektowano meandrowy grzejnik na bazie platyny. Metoda 3D-TLM z macierzą linii transmisyjnych i oprogramowanie COMSOL są wykorzystywane do przewidywania jednorodnego rozkładu temperatury. Dlatego kontrola temperatury gorących obszarów mikropodgrzewacza jest bardzo ważna przed jakimikolwiek czujnikami gazu i projektowaniem MEMS.
Key words: czujniki gazu oparte na MEMS, mikronagrzewnica, 3D-TLM, COMSOL Multiphysics, jednorodny rozkład temperatury.