No/VOL: 09/2022 Page no. 307
Authors: Krzysztof Mars , Mateusz Sałęga-Starzecki , Elżbieta Godlewska :
Title: Wpływ trybu zasilania magnetronu na właściwości warstw SnSe
Abstract: Selenek cyny w jest intensywnie badanym pod kątem zastosowań w urządzeniach termoelektrycznych, fotowoltaicznych i optoelektronicznych. Jako materiał półprzewodnikowy charakteryzuje się niskim przewodnictwem cieplnym, co znacząco utrudnia proces jego rozpylania magnetronowego. Celem pracy było zbadanie wpływu trybu zasilania magnetronu (DC lub AC) na właściwości termoelektryczne otrzymywanych warstw. Parametry pracy magnetronu (napięcie katoda-anoda i prąd katody) monitorowano za pomocą oscyloskopu, dla impulsów o częstotliwości od 0,2-1kHz. Mikrostrukturę i skład warstw badano posługując się skaningową mikroskopią elektronową i mikroanalizą rentgenowska (SEM i EDS).
Key words: warstwy SnSe, rozpylanie magnetronowe, materiały termoelektryczne