No/VOL: 08/2020 Page no. 126
Authors: Marcin Turek , Andrzej Droździel , Krzysztof Pyszniak , Yuriy Vaganov :
Title: Termodesorpcja argonu implantowanego do germanu
Abstract: Badano termodesorpcję Ar zaimplantowanego do germanu (z energią 100 keV i 150 keV, dawka 2×1016 cm-2). Zaobserwowano gwałtowne uwolnienia Ar w temperaturach 790-840 K w postaci wąskich wierzchołków w widmach TDS, co świadczy najprawdopodobniej o uwalnianiu Ar zgromadzonego w postaci bąbli we wnękach w Ge. Analiza przesunięć położenia wierzchołków pozwoliła oszacować wartości energii aktywacji desorpcji – wynosi ona 3.2 eV (100 keV) i 2.2 eV (150 keV) - znacznie więcej niż uzyskane w przypadku He implantowanego do Ge.
Key words: implantacja jonowa, spektrometria termodesorpcyjna, desorpcja, defekty w ciałach stałych