No/VOL: 11/2007 Page no. 18-20
Authors: Michael Greiff , Uzzal Binit Bala , Josefine Freitag , Wolfgang Mathis :
Title: Obliczenia numeryczne sił elektrostatycznych w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS
Abstract: Siła jest głównym elementem „łączącym” obwody mechaniczne i elektryczne. Jej obliczanie odgrywa ważną rolę w symulacji mikroukładów elektro-mechanicznych (MEMS). W artykule przedstawiono numeryczne obliczenia sił elektrostatycznych w systemach MEMS na przykładzie mikroskopu EFM.
Key words: MEMS, metoda elementów skończonych, siły elektrostatyczne, tensor naprężeń Maxwella