No/VOL: 12/2016 Page no. 73
Authors: Ewa Korzeniewska , Agnieszka Duraj , Andrzej Krawczyk , Piotr Murawski :
Title: Analiza obrazu termograficznego cienkich warstw metalicznych przy użyciu algorytmów grupujących
Abstract: W artykule autorzy dokonują analizy obrazów termograficznych cienkich warstw metalicznych wykonanych w procesie PVD (physical vapor deposition) jako części roboczej systemu tekstronicznego. Scharakteryzowano również krótko algorytmy zastosowane przy klasyfikacji danych: algorytm k średnich, algorytm COBWEB oraz algorytm grupujący. Wykorzystując zaprezentowane algorytmy rozpoznawania obrazów dokonano identyfikacji defektów struktur cienkowarstwowych.
Key words: rezystancja warstw cienkich, algorytm k-średnich, algorytm COBWEB, algorytm grupujący.