No/VOL: 08/2016 Page no. 184
Authors: Fadei Komarov , Ludmila Vlasukova , Iulia Parkhomenko , Paweł Żukowski , Oleg Milchanin , Alexander Mudryi , Vadim Żhyvulka , Jerzy Zuk , Przemysław Kopyciński , Danatbek Murzalinov :
Title: Pochodzenie widocznych fotoluminescencyjnych warstw azotku krzemu wzbogaconych Si i N
Abstract: Amorficznie wzbogacony Si i N warstwy azotku krzemu zostały utworzony przez wspomagane plazmą osadzanie chemiczne z fazy gazowej (PECVD), a następnie wygrzany w temperaturze 600, 800 i 1100ºC w atmosferze Ar. Różne zależności widm fotoluminescencji (PL) w temperaturze wygrzewania zostały ujawnione dla wzbogaconych Si i N warstw SiNx. Pochodzenie PL omówiono w oparciu o schemat pasma w zależności od wartości x, z uwzględnieniem defektów radiacyjnych amorficznej warstwy SiNx. Transformacji widma PL po obróbce cieplnej jest wyjaśniona przez strukturalną modyfikację spowodowaną konkurencyjnymi procesami tworzenia się i wygrzewania defektów.
Key words: widma fotoluminescencyjne, widma transformacji, amorficzne warstwy, emisja światła.